|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 22 gevonden artikelen
| Titel: |
Analysis of pressure distribution and verification of pressure signal by changes load and velocity in chemical mechanical polishing |
| Auteur: |
Lee, Changsuk Park, Jaehong Kinoshita, Masaharu Jeong, Haedo |
| Verschenen in: |
International journal of precision engineering and manufacturing |
| Paginering: | Jaargang 16 (2015) nr. 6 pagina's 1061-1066 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society for Precision Engineering, Seoul |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 22 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |