|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 14 van 31 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of pad’s surface deformation and oscillation on monocrystalline silicon wafer surface quality |
| Auteur: |
Choi, Woong-Kirl Kim, Seong-Hyun Choi, Seung-Geon Lee, Eun-Sang Lee, Chul-Hee |
| Verschenen in: |
International journal of precision engineering and manufacturing |
| Paginering: | Jaargang 15 (2014) nr. 11 pagina's 2301-2307 |
| Jaar: |
2014 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society for Precision Engineering, Springer |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 14 van 31 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |