|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of pad groove geometry on material removal characteristics in chemical mechanical polishing |
| Auteur: |
Guo, Yongchang Lee, Hyunseop Lee, Youngkyun Jeong, Haedo |
| Verschenen in: |
International journal of precision engineering and manufacturing |
| Paginering: | Jaargang 13 (2012) nr. 2 pagina's 303-306 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society for Precision Engineering, Springer |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |