|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Impurity-controlled Mo films as diffusion barriers for Cu metallization |
| Auteur: |
Gu, Gil Ho Park, Sung Min Park, Chan Gyung |
| Verschenen in: |
Metals and materials international |
| Paginering: | Jaargang 18 (2012) nr. 3 pagina's 517-520 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Korean Institute of Metals and Materials, Springer |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |