|
| << vorige |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 27 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Use of novel chemical dipping method for the stability evaluation of an ultrathin TaNx barrier in Cu interconnects |
| Auteur: |
Pyo, Sung Gyu |
| Verschenen in: |
Metals and materials international |
| Paginering: | Jaargang 16 (2010) nr. 2 pagina's 293-297 |
| Jaar: |
2010 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
The Korean Institute of Metals and Materials, Springer |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 27 van 27 gevonden artikelen
| << vorige |