|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 43 van 57 gevonden artikelen
| Titel: |
Modeling of step height reduction with temperature function in copper CMP |
| Auteur: |
Shin, Yeongil Jeong, Jongmin Park, Youngwook Jeong, Seonho Jung, Hokyoung Jeong, Haedo |
| Verschenen in: |
Journal of mechanical science and technology |
| Paginering: | Jaargang 37 () nr. 12 pagina's 6213-6220 |
| Jaar: |
2023-12-07 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society of Mechanical Engineers, Seoul |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 43 van 57 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |