|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 17 van 52 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication process of a microstructures based on hydrogenated amorphous SiGe films for applications in MEMS devices |
| Auteur: |
Galindo-Mentle, M. López-Huerta, F. Palomino-Merino, R. Zúñiga-Islas, C. Calleja-Arriaga, W. Herrera-May, A. L. |
| Verschenen in: |
Journal of mechanical science and technology |
| Paginering: | Jaargang 29 (2015) nr. 4 pagina's 1673-1679 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society of Mechanical Engineers, Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 17 van 52 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |