|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 49 van 55 gevonden artikelen
| Titel: |
The effects of a spray slurry nozzle on copper CMP for reduction in slurry consumption |
| Auteur: |
Lee, Dasol Lee, Hyunseop Jeong, Haedo |
| Verschenen in: |
Journal of mechanical science and technology |
| Paginering: | Jaargang 29 (2015) nr. 12 pagina's 5057-5062 |
| Jaar: |
2015 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Korean Society of Mechanical Engineers, Seoul |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 49 van 55 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |