|
Formation and properties of ultrathin layers for fabrication of SOI MOS nanotransistor elements |
|
|
|
Titel: |
Formation and properties of ultrathin layers for fabrication of SOI MOS nanotransistor elements |
Auteur: |
Rudakov, V. I. Bogoyavlenskaya, E. A. Denisenko, Yu. I. Ovcharov, V. V. Kurenya, A. L. Rudenko, K. V. Lukichev, V. F. Orlikovsky, A. A. Plis, N. I. |
Verschenen in: |
Nanotechnologies in Russia |
Paginering: |
Jaargang 8 (2013) nr. 3-4 pagina's 255-261 |
Jaar: |
2013 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|