|
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition |
|
|
|
Titel: |
Anti-Reflection Properties of Black Silicon Coated with Thin Films of Metal Oxides by Atomic Layer Deposition |
Auteur: |
Ayvazyan, G. Y. Katkov, M. V. Lebedev, M. S. Shayapov, V. R. Afonin, M. Yu. Petukhova, D. E. Yushina, I. V. Maksimovskii, E. A. Aghabekyan, A. V. |
Verschenen in: |
Journal of contemporary physics |
Paginering: |
Jaargang 56 () nr. 3 pagina's 240-246 |
Jaar: |
2021-09-16 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|