|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 6 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Dynamics of Deposition and Removal of a Fluorocarbon Film in the Cyclic Process of Plasma-Chemical Etching of Silicon |
| Auteur: |
Morozov, O. V. |
| Verschenen in: |
Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics |
| Paginering: | Jaargang 88 () nr. 4 pagina's 447-453 |
| Jaar: |
2024-04-24 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 6 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |