|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 34 gevonden artikelen
| Titel: |
A stand for a projection EUV nanolithographer-multiplicator with a design resolution of 30 nm |
| Auteur: |
Volgunov, D. G. Zabrodin, I. G. Zakalov, B. A. Zuev, S. Yu. Kas’kov, I. A. Kluenkov, E. B. Pestov, A. E. Polkovnikov, V. N. Salashchenko, N. N. Suslov, L. A. Toropov, M. N. Chkhalo, N. I. |
| Verschenen in: |
Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics |
| Paginering: | Jaargang 75 (2011) nr. 1 pagina's 49-52 |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Allerton Press, Inc., Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 34 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |