Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 31 van 34 gevonden artikelen
 
 
  Two-mirror projection objective of a nanolithographer at λ = 13.5 nm
 
 
Titel: Two-mirror projection objective of a nanolithographer at λ = 13.5 nm
Auteur: Zuev, S. Yu.
Pestov, A. E.
Salashchenko, N. N.
Skryl, A. S.
Stroulea, I. L.
Suslov, L. A.
Toropov, M. N.
Chkhalo, N. I.
Verschenen in: Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics
Paginering: Jaargang 75 (2011) nr. 1 pagina's 57-60
Jaar: 2011
Inhoud:
Uitgever: Allerton Press, Inc., Heidelberg
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 31 van 34 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland