|
Two-mirror projection objective of a nanolithographer at λ = 13.5 nm |
|
|
|
Titel: |
Two-mirror projection objective of a nanolithographer at λ = 13.5 nm |
Auteur: |
Zuev, S. Yu. Pestov, A. E. Salashchenko, N. N. Skryl, A. S. Stroulea, I. L. Suslov, L. A. Toropov, M. N. Chkhalo, N. I. |
Verschenen in: |
Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics |
Paginering: |
Jaargang 75 (2011) nr. 1 pagina's 57-60 |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Allerton Press, Inc., Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|