|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 24 van 34 gevonden artikelen
| Titel: |
Project for manufacturing a Russian EUV nanolithographer for the fabrication of chips according to technological standards of 22 nm |
| Auteur: |
Salashchenko, N. N. Chkhalo, N. I. |
| Verschenen in: |
Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics |
| Paginering: | Jaargang 75 (2011) nr. 1 pagina's 44-48 |
| Jaar: |
2011 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Allerton Press, Inc., Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 24 van 34 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |