|
Mo-based EUV multilayer filters with enhanced thermal stability |
|
|
|
Titel: |
Mo-based EUV multilayer filters with enhanced thermal stability |
Auteur: |
Drozdov, M. N. Kluenkov, E. B. Lopatin, A. Ya. Luchin, V. I. Pestov, A. E. Salashchenko, N. N. Tsybin, N. N. Chkhalo, N. I. Shmaenok, L. A. |
Verschenen in: |
Bulletin of the Russian Academy of Sciences. Physics |
Paginering: |
Jaargang 75 (2011) nr. 1 pagina's 73-75 |
Jaar: |
2011 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Allerton Press, Inc., Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|