|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 30 gevonden artikelen
| Titel: |
Acoustic bubble array-induced jet flow for cleaning particulate contaminants on semiconductor wafers |
| Auteur: |
Kim, Daegeun Hong, Jiwoo Chung, Sang Kug |
| Verschenen in: |
Korean journal of chemical engineering |
| Paginering: | Jaargang 39 () nr. 12 pagina's 3261-3266 |
| Jaar: |
2022-11-12 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer US, New York |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 30 gevonden artikelen
| volgende >> |