|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 11 van 26 gevonden artikelen
| Titel: |
Inductively coupled plasma etching of Ta, Co, Fe, NiFe, NiFeCo, and MnNi with Cl2/Ar discharges |
| Auteur: |
Park, Hyung Jo Ra, Hyun-Wook Song, Kwang Sup Hahn, Yoon-Bong |
| Verschenen in: |
Korean journal of chemical engineering |
| Paginering: | Jaargang 21 () nr. 6 pagina's 1235-1239 |
| Jaar: |
2007-10-04 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 11 van 26 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |