|
Optical and mechanical properties of diamond like carbon films deposited by microwave ECR plasma CVD |
|
|
|
Titel: |
Optical and mechanical properties of diamond like carbon films deposited by microwave ECR plasma CVD |
Auteur: |
Singh, S. B. Pandey, M. Chand, N. Biswas, A. Bhattacharya, D. Dash, S. Tyagi, A. K. Dey, R. M. Kulkarni, S. K. Patil, D. S. |
Verschenen in: |
Bulletin of materials science |
Paginering: |
Jaargang 31 (2008) nr. 5 pagina's 813-818 |
Jaar: |
2008 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer-Verlag, India |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|