|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Effect of diluent gas on silicon film deposition from a free jet of monosilane-diluent mixture activated by electron-beam plasma |
| Auteur: |
Khmel, S. Ya. |
| Verschenen in: |
Journal of engineering thermophysics |
| Paginering: | Jaargang 21 (2012) nr. 1 pagina's 52-59 |
| Jaar: |
2012 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |