|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 18 gevonden artikelen
| Titel: |
Preparation of AlN thin films for film bulk acoustic resonator application by radio frequency sputtering |
| Auteur: |
Li, Kan Jin, Hao Wang, De-miao Tang, Yi-fei |
| Verschenen in: |
Journal of Zhejiang University. Science A, Applied Physics and Engineering |
| Paginering: | Jaargang 10 (2009) nr. 3 pagina's 464-470 |
| Jaar: |
2009 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Zhejiang University Press, Hangzhou |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 18 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |