Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 11 van 61 gevonden artikelen
 
 
  Computational investigation of a novel metal thickness measurement system with coaxial triple-coil sensor for chemical mechanical polishing
 
 
Titel: Computational investigation of a novel metal thickness measurement system with coaxial triple-coil sensor for chemical mechanical polishing
Auteur: Wang, Chengxin
Tian, Fangxin
Wang, Tongqing
Liu, Bangxu
Lu, Xinchun
Verschenen in: The international journal of advanced manufacturing technology
Paginering: Jaargang 132 () nr. 11-12 pagina's 5249-5258
Jaar: 2024-04-29
Inhoud:
Uitgever: Springer London, London
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 11 van 61 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland