|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 38 van 62 gevonden artikelen
| Titel: |
Polishing mechanisms of various surfactants in chemical mechanical polishing relevant to cobalt interconnects |
| Auteur: |
Zhang, Lifei Wang, Shuhui Wang, Tongqing Lu, Xinchun |
| Verschenen in: |
The international journal of advanced manufacturing technology |
| Paginering: | Jaargang 128 () nr. 11-12 pagina's 5425-5436 |
| Jaar: |
2023-09-07 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer London, London |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 38 van 62 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |