Digitale Bibliotheek
Sluiten Bladeren door artikelen uit een tijdschrift
 
<< vorige    volgende >>
     Tijdschrift beschrijving
       Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
         Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
           Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
                                       Details van artikel 72 van 88 gevonden artikelen
 
 
  Residual stress classification of pulsed DC reactive sputtered aluminum nitride film via large-scale data analysis of optical emission spectroscopy
 
 
Titel: Residual stress classification of pulsed DC reactive sputtered aluminum nitride film via large-scale data analysis of optical emission spectroscopy
Auteur: Lo, Hsiao-Han
Chen, Wei-Lun
Wang, Peter J.
Lai, Walter
Fuh, Yiin-Kuen
Li, Tomi T.
Verschenen in: The international journal of advanced manufacturing technology
Paginering: Jaargang 119 () nr. 11-12 pagina's 7449-7462
Jaar: 2022-01-25
Inhoud:
Uitgever: Springer London, London
Bronbestand: Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften
 
 

                             Details van artikel 72 van 88 gevonden artikelen
 
<< vorige    volgende >>
 
 Koninklijke Bibliotheek - Nationale Bibliotheek van Nederland