|
Effect of geometry error on accuracy of large-diameter pads used for CMP dressing |
|
|
|
Titel: |
Effect of geometry error on accuracy of large-diameter pads used for CMP dressing |
Auteur: |
Ban, X. X. Zhao, H. Y. Zhao, S. J. Xie, R. Q. Gu, Y. W. Zhu, X. L. Liao, D. F. Li, L. Jiang, Z. D. |
Verschenen in: |
The international journal of advanced manufacturing technology |
Paginering: |
Jaargang 100 (2018) nr. 5-8 pagina's 1505-1520 |
Jaar: |
2018 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer London, London |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|