|
Ultrasound harmonic generation and atomic layer deposition of multilayer, deep-UV mirrors and filters with microcavity plasma arrays |
|
|
|
Titel: |
Ultrasound harmonic generation and atomic layer deposition of multilayer, deep-UV mirrors and filters with microcavity plasma arrays |
Auteur: |
Kim, Jinhong Mironov, Andrey Park, Sehyun Kim, Changgong Park, Sung-Jin Eden, J. Gary |
Verschenen in: |
The European physical journal. D, Atomic, molecular and optical physics |
Paginering: |
Jaargang 77 () nr. 5 pagina's xx |
Jaar: |
2023-05-11 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|