|
Specific features of steady-state implantation of crystalline silicon with a molecular oxygen-nitrogen beam: Si L2, 3 x-ray emission spectra |
|
|
|
Titel: |
Specific features of steady-state implantation of crystalline silicon with a molecular oxygen-nitrogen beam: Si L2, 3 x-ray emission spectra |
Auteur: |
Zatsepin, D. A. Shein, I. R. Kurmaev, É. Z. Cherkashenko, V. M. Shamin, S. N. Skorikov, N. A. Yadav, A. D. Dubey, S. K. |
Verschenen in: |
Physics of the solid state |
Paginering: |
Jaargang 50 (2008) nr. 1 pagina's 146-151 |
Jaar: |
2008 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
SP MAIK Nauka/Interperiodica, Dordrecht |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|