|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 2 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
Atomic Structure and Optical Properties of Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposited SiCOH Low-k Dielectric Film |
| Auteur: |
Kruchinin, V. N. Volodin, V. A. Rykhlitskii, S. V. Gritsenko, V. A. Posvirin, I. P. Shi, Xiaoping Baklanov, M. R. |
| Verschenen in: |
Optics and spectroscopy |
| Paginering: | Jaargang 129 () nr. 6 pagina's 645-651 |
| Jaar: |
2021-12-24 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Pleiades Publishing, Moscow |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 2 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |