|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
| Titel: |
High-aspect-ratio microstructures fabricated by X-ray lithography of polymethylsilsesquioxane-based spin-on glass thick films |
| Auteur: |
Liu, Y. Cui, T. Coane, P. J. Vasile, M. J. Goettert, J. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 9 (2003) nr. 3 pagina's 171-175 |
| Jaar: |
2003 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 14 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |