|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 22 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Side wall roughness in ultradeep X-ray lithography |
| Auteur: |
Moldovan, N. Mancini, D. C. Divan, R. Makarova, O. V. Peele, A. Podolak, K. R. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 9 (2002) nr. 1-2 pagina's 130-132 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 22 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |