|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 11 gevonden artikelen
| Titel: |
Angle effect of ultrasonic agitation on the development of thick JSR THB-430N negative UV photoresist |
| Auteur: |
Tseng, F.-G. Yu, C.-S. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 8 (2002) nr. 6 pagina's 363-367 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 11 gevonden artikelen
| volgende >> |