|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 27 gevonden artikelen
| Titel: |
Comparison of PMMA and SU-8 resist moulds for embossing of PZT to produce high-aspect-ratio microstructures using LIGA process |
| Auteur: |
Schneider, A. Su, B. Button, T. W. Singleton, L. Wilhelmi, O. Huq, S. E. Prewett, P. D. Lawes, R. A. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 8 (2002) nr. 2-3 pagina's 88-92 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 27 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |