|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 16 gevonden artikelen
| Titel: |
A single crystal silicon 3 dimensional processing technique with applications in large displacement electrostatic actuation |
| Auteur: |
Subramanian, K. Huang, X. T. MacDonald, N. C. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 8 (2002) nr. 1 pagina's 67-72 |
| Jaar: |
2002 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 16 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |