|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 13 gevonden artikelen
| Titel: |
Application of electroplating in MEMS-micromachining exemplified by a microrelay |
| Auteur: |
Becker, M. Notarp, D. Lütke Vogel, J. Kieselstein, E. Sommer, J.-P. Brämer, K. Großer, V. Benecke, W. Michel, B. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 7 (2001) nr. 4 pagina's 196-202 |
| Jaar: |
2001 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 13 gevonden artikelen
| volgende >> |