|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 3 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Dimensional measurement of high aspect ratio micro structures with a resonating micro cantilever probe |
| Auteur: |
Yamamoto, M. Takeuchi, H. Aoki, S. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 6 (2000) nr. 5 pagina's 179-183 |
| Jaar: |
2000 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 3 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |