|
| volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 1 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
An electrostatic microactuator using LIGA process for a magnetic head tracking system of hard disk drives |
| Auteur: |
Nakamura, S. Suzuki, K. Ataka, M. Fujita, H. Basrour, S. Soumann, V. Labachelerie, M. Daniau, W. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 5 (1998) nr. 2 pagina's 69-71 |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 1 van 9 gevonden artikelen
| volgende >> |