|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 7 van 9 gevonden artikelen
| Titel: |
Reduction of mechanical stress in micromachined components caused by humidity-induced volume expansion of polymer layers |
| Auteur: |
Buchhold, R. Nakladal, A. Gerlach, G. Sahre, K. Eichhorn, K.-J. Müller, M. |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 5 (1998) nr. 1 pagina's 3-12 |
| Jaar: |
1998 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer-Verlag, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 7 van 9 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |