|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 12 van 20 gevonden artikelen
| Titel: |
Enhanced anchor quality factor of an aluminium nitride-on-silicon MEMS resonator using support tethers based on compound leaf-shaped one dimensional phononic crystal |
| Auteur: |
Ha, Thi Dep |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 31 () nr. 1 pagina's 75-87 |
| Jaar: |
2024-05-27 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 12 van 20 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |