|
Topology optimization research and simulation analysis of high-performance MEMS pressure sensor |
|
|
|
Titel: |
Topology optimization research and simulation analysis of high-performance MEMS pressure sensor |
Auteur: |
Guo, Xiaohui Shao, Shuang Hu, Bing Yan, Xu Huang, Xingchen Hong, Weiqiang Yan, Zihao He, Jianwei Gao, Yuanyuan Zhang, Huishan Song, Yanjun Song, Tai Xia, Yun Xu, Yaohua |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 30 () nr. 2 pagina's 231-241 |
Jaar: |
2024-02-07 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|