|
FEM modelling and performance evaluation of a flexible film bulk acoustic resonator |
|
|
|
Titel: |
FEM modelling and performance evaluation of a flexible film bulk acoustic resonator |
Auteur: |
Johar, Arun Kishor Bhatt, Jai Kumar Upadhyaya, Yogendra Kumar Tripathi, Ashutosh Sharma, Gaurav Kumar Periasamy, C. Varma, Tarun Boolchandani, Dharmendar Agarwal, Ajay |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 29 () nr. 4 pagina's 655-661 |
Jaar: |
2023-04-24 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|