|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 10 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
3D finite element analysis of corrugated silicon carbide membrane for ultrasonic MEMS microphone applications |
| Auteur: |
Auliya, Rahmat Zaki Ooi, Poh Choon Mohd. Razip Wee, M. F. Mohammad Haniff, Muhammad Aniq Shazni Zawawi, Siti Aisyah Hamzah, Azrul Azlan |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 27 () nr. 3 pagina's 913-919 |
| Jaar: |
2020-08-27 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 10 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |