|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 18 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication and evaluation of aluminum nitride based MEMS piezoelectric vibration sensors for large-amplitude vibration applications |
| Auteur: |
Zhang, Lan Lu, Jian Kuwashiro, Shingo Mitsue, Masayuki Maeda, Ryutaro |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 27 () nr. 1 pagina's 235-242 |
| Jaar: |
2020-06-24 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 18 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |