|
Fabrication of SU-8 photoresist micro–nanofluidic chips by thermal imprinting and thermal bonding |
|
|
|
Titel: |
Fabrication of SU-8 photoresist micro–nanofluidic chips by thermal imprinting and thermal bonding |
Auteur: |
Sun, Lei Liu, Lingpeng Qi, Liping Guo, Ran Li, Kehong Yin, Zhifu Wu, Dongjiang Zhou, Jiangang Zou, Helin |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 26 () nr. 3 pagina's 861-866 |
Jaar: |
2019-07-30 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|