|
Design, modelling and system level simulations of DRIE-based MEMS differential capacitive accelerometer |
|
|
|
Titel: |
Design, modelling and system level simulations of DRIE-based MEMS differential capacitive accelerometer |
Auteur: |
Mukhiya, R. Agarwal, P. Badjatya, S. Garg, M. Gaikwad, P. Sinha, S. Singh, A. K. Gopal, R. |
Verschenen in: |
Microsystem technologies |
Paginering: |
Jaargang 25 (2019) nr. 9 pagina's 3521-3532 |
Jaar: |
2019 |
Inhoud: |
|
Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
|
|
|
|