|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 20 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Fabrication of surface micromachined molybdenum cantilever beams for PWM MEMS pressure sensor and issues that affect yield |
| Auteur: |
Sivasundari, K. Sugantharathnam, D. Mary Daniel, R. Joseph |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 25 (2019) nr. 7 pagina's 2535-2545 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 20 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |