|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 16 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Laterally vibrating MEMS resonant vacuum sensor based on cavity-SOI process for evaluation of wide range of sealed cavity pressure |
| Auteur: |
Liu, Cong Froemel, Joerg Chen, Jianlin Tsukamoto, Takashiro Tanaka, Shuji |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 25 (2018) nr. 2 pagina's 487-497 |
| Jaar: |
2018 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 16 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |