|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 4 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
A novel capacitive sensing structure for simultaneous detection of biaxial low-g acceleration in a commercial MEMS process |
| Auteur: |
Shan, Xiaowei Angeles, Jorge Forbes, James Richard |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 25 (2019) nr. 12 pagina's 4475-4481 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 4 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |