|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 18 van 36 gevonden artikelen
| Titel: |
Influence of residual stress on performance of AlN thin film based piezoelectric MEMS accelerometer structure |
| Auteur: |
Gupta, Nidhi Pandey, Akhilesh Vanjari, Siva Rama Krishna Dutta, Shankar |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 25 (2019) nr. 10 pagina's 3959-3967 |
| Jaar: |
2019 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 18 van 36 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |