|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 15 van 35 gevonden artikelen
| Titel: |
Influence of the side etching effect in DRIE on performance of electrostatic linear comb-drive actuators |
| Auteur: |
Pham, Phuc Hong Dang, Lam Bao |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 24 (2017) nr. 5 pagina's 2215-2222 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 15 van 35 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |