Magnetic films for electromagnetic actuation in MEMS switches
Titel:
Magnetic films for electromagnetic actuation in MEMS switches
Auteur:
de Oliveira Hansen, Roana Mátéfi-Tempfli, Mária Safonovs, Romans Adam, Jost Chemnitz, Steffen Reimer, Tim Wagner, Bernhard Benecke, Wolfgang Mátéfi-Tempfli, Stefan