|
| << vorige | volgende >> |
Tijdschrift beschrijving
Alle jaargangen van het bijbehorende tijdschrift
Alle afleveringen van het bijbehorende jaargang
Alle artikelen van de bijbehorende aflevering
Details van artikel 40 van 52 gevonden artikelen
| Titel: |
Pre-buried mask wet etching for suspended silicon microstructures applied in rocking mass micro-gyroscope |
| Auteur: |
Wang, Xiong Xu, Xiao-bin Zhang, De-wei Wu, Xue-zhong |
| Verschenen in: |
Microsystem technologies |
| Paginering: | Jaargang 24 (2017) nr. 2 pagina's 1081-1087 |
| Jaar: |
2017 |
| Inhoud: | |
| Uitgever: |
Springer Berlin Heidelberg, Berlin/Heidelberg |
| Bronbestand: |
Elektronische Wetenschappelijke Tijdschriften |
Details van artikel 40 van 52 gevonden artikelen
| << vorige | volgende >> |